全自动在线

1

设备尺寸

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半自动：1650*1350*1850mm

2

测试有效面积

L250mm×W180mm

L250mm×W180mm

3

测试厚度范围

0~35mm

0~35mm

4

测试面板平面度

＜0.003mm

＜0.003mm

5

单点测量误差

≤0.003mm

使用计量用3mm厚标准块，放入两平行板之间，同1位置重复测量10次，测量数值range在3um以内

6

测量误差

±0.015mm

选用2mm和5mm量块分别对平板内的9个点进行测量并读数；单点测量值-标准值的绝对值≤0.01mm

7

测试压力范围

1000-3000g

保证上盖板匀速下降，压力波动范围不超过±10%

8

压力方式

配重方式

采用法码配重方式进行测试压力调整，最小10克

9

系统工作节拍

≤8s

PPM ≥6

10

GR&R

＜10%

＜10%

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测量系统稳定性

0.01mm

使用 3mm和5mm的标准块，1次/4小时重复测试3~5次。一个月内，任意点测量值不超过控制线。UCL=标准值+0.01，LCL=标准值 -0.01

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测量工具

日本三丰千分表

可读数0.001mm，精度0.001mm

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控制系统

自主研发芯片

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驱动元件

伺服电机

需配备AC220V电源接口

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系统软件

电脑+测试软件

A.工作模式1：使用软件控制气动单元执行测试，并利用软件实现测试系统职能化，测试结果显示与保存（选配功能：增加扫码枪可实现追溯功能）；B.工作模式2：在不打开软件界面的情况下，测试机构能执行测试，并将测试结果写入到当前Excel单元格内。两种运行模式可自由切换。C、可以数据上传至数据库（除ATL外需另选此功能）